국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 반도체 공정 수율 향상을 위한 디지털 트윈 연동형 자가진단 초저습 제습 시스템(i-DEMS) 양산성능평가지원사업 · 예산사업명: 소재부품산업기술개발기반구축(R&D) · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2026-04-01 ~ 2027-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-04-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 경영 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 예스티 · 연구책임자: 김태훈 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 250,000,000원 · 총 연구비: 373,318,000원 ■ 한글키워드 · 습도 제어, 이에프이엠, 디지털 트윈, 자가진단, 실시간 연동 ■ 영문키워드 · Humidity Control, EFEM, Digital twin, Self-diagnostics, Real-time Synchronization ■ 연구내용 [1차년도] 개선 시제품 성능평가 및 디지털 트윈 가상 Test-bench 구축1) 수요기업 요구사양에 따른 i-DEMS 시제품 및 Test-bench 개조개선2) 수요기업 EFEM 환경과 유사한 Test-bench 적용 개선 시제품 기초 성능 평가 및 공정 최적화3) 개선 시제품 공인시험평가를 … ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410019540 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410019540 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.